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类石墨薄膜的脉冲激光沉积及场致电子发射特性研究

以聚酰亚胺薄膜为靶子,用高电导硅作为衬底,KrF准分子激光器作为辐射光源,利用脉冲激光沉积技术制备出了类石墨薄膜,并以该薄膜为......

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薄膜物理学类石墨薄膜脉冲激光沉积场致电子发射 thin-film physics polyimide pulsed laser deposition fi

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